对微电子工业而言,上述数据有此差导 工梦过程产生25%的微污染物,设备产生25%,工艺用气体和化学品产生8%,空气产生8%.人员则产生35%。但是人员的影响会随看隔离工艺（洁净服防护口罩及风淋室吹淋）的采用而有所下降。空气中微污染物的性质和表征,它的大小不均布在电子显微镜可以观察到空气中含有：油烟、雾、尘埃、水滴、花粉、胶体、蛋白质、真菌、酵母、病毒、炭黑、等等分子从中可看出,净化车间洁净室的空气净化问题是综合性的。在没有安装工艺设备和人员的情况下 仅建造洁净室本身来保证必要的洁净度是不够的。需要同时采用产生最小污染的设备或基本上不产上污染的设备,人员也穿着洁净服净化衣无尘服,并按规定规范行动,检查人员的卫生情况 否则花大量费用于建造洁净室就变得毫无意义。做河北净化车间找卓泰净化，

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