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电子净化车间一般都是生产加工为主无尘车间,电子无尘车间一般是大空间大高度,这样得净化大车间净化洁净级别控制有一定难度,所以在电子净化车间设计里面可以根据使用部位级别要求设计微环境(局部百级净化、局部千级净化、局部万级净化等)微环境是在大洁净空间中一块与洁净级别低的区域隔离开来的局部小净化区域。它是包括形成这个环境的环绕一个工艺设备的严密的、超洁净的围挡结构,在电子净化十级洁净区域一般存放硅晶片的容器(SMIF容器), 一个机械手系统(SMIF 手臂系统)。微环境产生的背景是:由于集成电路的集成度越来越高,对环境的要求越来越严,费用越来越大。河北电子净化车间合理设计规划可以节约使用能耗,又能达到局部使用无尘洁净环境。河北净化车间、洁净室、卓泰净化、河北无尘车间 河北无菌车间
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