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微电子工业是当前对洁净室要求最高的行业。 大规模和超大规模集成电路(LSI、VLSI) 的发展,对微尘控制要求越来越高。 集成电路制造工艺中,集成度越大,图形尺寸(以线宽为代表)越细,对洁净室控制粒径的尺寸也要求越小(通常为线宽的1/10),且含尘量也要求越低。 此外,现代工业中的液晶、光纤等的生产,同样有洁净度的要求。所以在人员及物料进出口设置风淋室,阻断污染源进入净化车间。
净化车间风淋室可以兼起气闸室的作用,阻止外界污染和未被净化的空气进入洁净区域。杜绝工作人员将头发,灰尘、细菌带入车间,达到工作场地严格的无尘净化标准,生产出高质量的产品。净化风淋室是人员进入洁净区无尘车间所必备的净化设备,通用性强,可与所有的洁净区和洁净厂房配套使用,工作人员进入车间时,必须通过此设备,用强劲洁净的空气,由可旋转喷嘴从各个方向喷射至人身上,有效而迅速清除去附着在衣服上的灰尘、头发、发屑等杂物,它可以减少人进出洁净区所带来的污染问题。
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